EFFITECH

HIPIMS
Générateur monopolaire impulsionnel de forte puissance pour dépôt par magnétron.

Qu'est ce que HIPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering)?

C'est une technique relativement récente qui permet un meilleur traitement de surface qu'avec un magnétron fonctionnant en régime continu.


low_pressure_plasma2.jpg

  1. Meilleure préparation de la surface
  2. Taux de déposition supérieur
  3. Améliore la planéité de la surface
  4. Réduction des imperfections
  5. Grâce à un plasma très dense, les ions sont attirés vers le substrat par polarisation

AHTPM1

Il intégre une alimentation continue et son commande/contrôle

AHTPM1.jpg AHTPM1_Pulse.png

  1. Tension pulsée de 0 V à -1 kV, puissance crête de 110A
  2. Tension de polarisation de 0 V à -700 V
  3. Protégé contre les courts-circuits et la surconsommation du magnètron










AHTPM5

AHTPM5.jpg AHTPM5_output.jpg


  1. Polarisation continue
  2. Pulsée jusqu'à – 5 kV
  3. Protégé contre les courts-circuits