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Générateur monopolaire impulsionnel de fortes puissances pour dépôt par magnétron.(HIPIMS)

Qu'est ce que HIPIMS ?

C'est une technique relativement récente qui permet un meilleur traitement de surface qu'avec un magnetron fonctionnant en régime continu.

  1. • Meilleure préparation de la surface
  2. • Taux de déposition supérieur
  3. • Améliore la planéité de la surface
  4. • Réduction des imperfections
  5. • Grâce à un plasma très dense, les ions sont attirés vers le substrat par polarisation
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AHTPM5

  1. • Polarisation continue pulsée jusqu'à – 5 kV
  2. • Protégé contre les courts-circuits


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AHTPM5


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Sortie AHTPM5


AHTPM1

Il intégre une alimentation continue et son commande/contrôle
  1. • Tension pulsée de 0 V à -1 kV, puissance crête de 110A
  2. • Tension de polarisation de 0 V à -700 V
  3. • Protégé contre les courts-circuits et la surconsommation du magnètron


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AHTPM1